特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、临床诊断、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,其应用范围也越来越广泛。特种气体(Specialtygases) 气体工业名词,是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气,高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。根据有关数据显示,中国特种功能电子气体市场规模逐年增长,仅2016年,中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是,从产业链以及技术层面欧美国家占据较好的地位。
对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全隐患。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏,确保系统密闭性。特种气体是光电子、微电子等领域,特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。工业上,把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小,但根据不同的用途。
特种气体的储存注意事项:根据储存的气体类型设置标牌,如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒面具、空气呼吸器等设施。灭菌特种气体由于它的活泼型,杀菌力强、杀菌谱广,对物品损害轻微等优点,已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一,特种气体的重要性:在半导体工艺中,从芯片生长到后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离 不开电子特气,因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。
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