气体产品大致可以分为两大类别, 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全隐患。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏,确保系统密闭性。特种气体(Specialtygases) 气体工业名词,是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气,高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
特种气体是工业气体中的一个新兴门类,是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展而发展起来的。特种气体的储存注意事项:高压容器内,存有内容物时,无论内容量多少,在该容器储存场地2m内,严禁明火或放置燃、可燃物。场所的环境温度≤40℃为佳。特种气体的重要性:电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多,用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和可靠性,
特种气体指半导体生产环节中,比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,也就是气体类别中的电子气体,特种气体种类:电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。特种气体在集成电路领域的应用:特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料,处于半导体产业链的 上游,被称为半导体的“源”,主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
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