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特种气体的作用：

1、做保护介质，通常使用氦气、氩气、氮气用于高纯净、超绝缘、超导等。

2、能量介质，主要用到氢气、氧气等，是航空航天的重要燃料。

3、反应及中和介质，在精细化工、生物医1疗中用于反应、保护等。

4、冷冻和保鲜介质，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。

5、综合手段与介质，应用于制造业的成型保护、核反应堆的保护、电光源照明行业和吹扫等。

特种气体系统：

主管路系统的设计

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精1确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自燃气体，特种气体哪里有，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，南昌特种气体，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。后管道还要有良好的接地。

特种气体:高纯氯1气

高纯氯1气制取方法

高纯氯的生产方法仍以工业氯为原料，吸附净化。工业液1氯中的杂质含量较多，哪里有特种气体厂家，欲制得高纯氯必须把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，除H2O外其余杂质的沸点均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分离法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不仅剧1毒，且具有强氧化、强腐蚀的异常活泼的化学性质，特种气体厂，除少数稀有气体外，几乎能与所有元素形成化合物。因此要筛选不受氯腐蚀、不与氯起化学反应的干燥剂、吸附剂，以及这些吸附剂的化学处理、再生等。

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