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特种气体的分类

近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展，促使这一块所需使用气体的飞速发展。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高，所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等高精尖行业。主要包括：

1、硅族气体：含硅基的硅i烷类。

2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体。

3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主。

4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主。

5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属。

特种气体管道的施工方法

　　特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于大宗特气项目，一般都建有一个标准的预制间。 但我们在实际的施工中，大宗特气项目很少，一般都是简单系统和常规系统，为了节约成本和资金，在要求不是很高的情况下、一般采用在施工现场找一块相对洁净的房间采取一定的防尘措施就地施工，安徽特种气体，除作业人员和检察人员外，应禁止无关人员出入。如果业主要求比较严格，哪里有特种气体厂家，也采用彩钢板搭设一个简单的预制件，房间内铺上地板革，在屋中用洁净塑料布封出一块装上两台层流罩，做一个简单的净化空间，进行管道的预制工作。

特种气体系统的设计与施工

供气系统的选择

简单供气系统

简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，特种气体厂，对气体供应系统的投资预算低。

惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。

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