特种气体系统的设计与施工
供气系统的选择
常规供气系统
常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂,50MW以下的太阳能电池生产线,发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻,系统配备在满足安全的前提下尽量简单,节省投资。
特种气体采用普通钢瓶(<50L)供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器,哪家特种气体公司专业,彩色触摸屏;气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,特种气体批发厂,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;专用氮气吹扫起源等等。
特种气体管道的施工
施工管理和现场施工的几个注意点
现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录,东莞特种气体,包括管工弯管的质量,尺寸是否准确,特种气体批发哪家好,管道是否有划伤,弯头是不是压得太扁;拆除包装的管道,预制好的管道,管口是不是封好;(管道封口应套上管帽,再采用EP管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好;如果没有管帽,则采用套一层内包装袋用胶带封好,然后外面再套一层,也用胶带封好。)焊工的焊缝是否符合质量要求,每个焊缝都必须仔细检查,并作好焊接作业者和焊接数量记录。
特种气体存放
针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体,通常设计将钢瓶置于特气柜内,再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱,而后再进入制程机台的使用点,于进入机台腔体之前,会有独立的气体控制盘与制程控制模块联机,以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制,通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴,而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘进行供应。
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