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特种气体的作用：

1、反应及中和介质，在精细化工、生物医1疗中用于反应、保护等。

2、冷冻和保鲜介质，天津特种气体，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。

3、治1疗杀菌介质，氦气、氧气、氮气、激光混合气等用于医1疗设备。

4、综合手段与介质，应用于制造业的成型保护、核反应堆的保护、电光源照明行业和吹扫等。

氦质谱检漏法是使用氦质谱检漏仪的氦分压力丈量原理，哪里有特种气体厂，完成被检件的氦走漏量丈量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，走漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。

特种气体管道的施工

施工管理和现场施工的几个注意点

现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录，包括管工弯管的质量，尺寸是否准确，管道是否有划伤，弯头是不是压得太扁；拆除包装的管道，预制好的管道，管口是不是封好；（管道封口应套上管帽，再采用EP管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好；如果没有管帽，则采用套一层内包装袋用胶带封好，然后外面再套一层，特种气体出售，也用胶带封好。）焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。

特种气体存放

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜内，特种气体要多少钱，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱，而后再进入制程机台的使用点，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘与制程控制模块联机，以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘进行供应。

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