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特种气体的运输

算出运输量

气体混装的合算

  从容器输运的安全来说，1好尽量避免与其它气体混装。在不得已混装时，按照下列方法进行合算。

(1)混装压缩气体状态的可燃、有毒气体时；

  可燃气体量(米3 )／300+有毒气体量(米3 )／1O0

(2)混装压缩气体状态的可燃气和液化气体状态的有毒气时：

  可燃气体量(米3 )／300+有毒气体量(公斤)／1000

特种气体系统：

管道系统的设计

材料的选择

特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，特种气体供应报价，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 .

辅助系统的设计

气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，兰州特种气体，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。

特种气体存放

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱，而后再进入制程机台的使用点，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘与制程控制模块联机，哪里有特种气体厂，以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘进行供应。

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