在半导体制造业中,可以把气体分成大宗气体和电子气体,深圳特种气体,大宗气体是指集中供应且用量较大的气体,如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积,特种气体公司,扩散等过程中使用的各种化学气体,如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等,特种气体价格多少,又可称为电子特种气体。
电子气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。在半导体的生产过程中,从芯片生长到后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。
特种气体是光电子、微电子等领域,特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并且从根本上制约着电路和器件的精1确性和准确性。
半导体照明是正处于方兴未艾的产业,随着化合物半导体市场的扩展,特种气体的需求呈现更大的增长态势,特种气体厂家直销,外延生长需要大量的超纯源和过程气体。应用于半导体技术中的特种气体因为其种类繁多品质要求严格,生产、充装、运送、储存都有技术及安全的要求,再加上经济规模等因素,需要多方面的积累才能实现规模化生产,因此目前国内呈现现市场大、供应能力小的局面。
电子特种气体种类多样行业集中度高,细分领域整合开启进口替代新征程。2016 年全球半导体行业用电子特种气体市场规模达到 36.8 亿美元,同比增长 5.7%;国内方面集成电路用电子特种气体需求约为 25 亿元,预计到 2020 年将突破 68 亿元。电子特种气体行业集中度高,以美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气和日本大阳日酸株式会社为首的五大气体公司占有全球 90%以上的电子特种气体市场份额。
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