准分子激光在医学上主要用于屈光不正的治1疗,如用PRK、LASIK、LASEK等方法进行屈光不正的治1疗,是目前临床上应用比较普遍、安全、快捷、有效、稳定的屈光不正治1疗方法。
美国IBM公司开始使用并且改进准分子激光技术,主要应用在计算机芯片的制造以及塑料物质上蚀刻精1确的图形。
1980年IBM公司应用193nm准分子激光刨光钻石。
1982年IBM将准分子激光技术应用在半导体光刻工艺中.
1986年AT&T贝尔实验室研制出第1台准分子激光分步投影光刻机.
目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面,如:钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积,物理气相沉积,磁头与光学镜片和硅晶圆的清洁等方面,微机电系统相关的微制造技术.
准分子激光气
产品名称:准分子激光气体(Excimer Laser Gases)
其他名称:氟化ya激光气体(193nm);氟化ke激光气体(248nm);氯化氙激光气体(308nm)
产品类型: ArF,KrF,XeCl,5%F2/He,准分子预混气供应商, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne
UN NO.: UN1956
钢瓶容积: 11L,16L,20L,49L,准分子预混气价格,50L
阀门型号:CGA679,DIN 8,DIN 14
高功率准分子激光气体
可用波长
193 nm
ArF
248 nm
KrF
308 nm
XeCl
450nm~520nm
XeF
较大紫外功率
540 W
较大紫外能量
1100 mj
重复频率
可变,准分子预混气厂, 1~600 Hz
脉冲稳定性
0.5%~1%,rms
长期漂移
0.1%~0.5%,rms
光束分布
均匀,安徽准分子预混气,平顶
脉冲宽度
10~20 ns
分子之间形成准分子是一种物理过程。由于准分子的基态十分不稳定,使得准分子会在几个皮秒的时间内就发生分解返回单体的基态。可以认为它的激光下能级是未被粒子占据的空能级,这样会比较容易地形成布居反转状态。所以准分子具有作为增益介质的天然属性。既然无机材料可以产生受激发射,那么有机材料形成的准分子在理论上也可以形成受激发射。与无机材料相比,有机材料形成准分子所需要的能量比无机材料要小得多。另外,有机材料较无机材料种类丰富,性质也多样,这为研究有机准分子激光器提供了十分丰富的材料基础。F. P. Scha¨fer曾经预言具有较高荧光效率的有机分子间所形成的准分子将是理想的激光工作物质。、
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