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特种气体是光电子、微电子等领域。特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精1确性和准确性。半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。

五月繁华似锦，万物欣欣向荣。5月18日，中船重工718所新材料一期项目正式投产，二期项目开工建设。笔者从该集团公司了解到，供应特种气体厂家，这标志着718所三氟化氮等特种气体产品产能将取得新的突破。

高纯电子特种气体被形容为半导体工业的“血液”和“粮食”，是大规模集成电路、多晶硅、太阳能、光纤等先进制造业的重要原材料，属于国家加快扶持发展的战略性新兴产业。然而早些年，相关产品被国外垄断，市场定价权掌握在国外厂商手中。为破1解垄断危机、抢抓市场机遇，718所于2000年组建特种气体工程部，生产特种气体公司，自筹经费立项开展研究，于2009年成功开发出高纯三氟化氮。该产品被列入国家“重点新产品”及“火炬计划”，石家庄特种气体，应用于国内大部分的半导体、液晶、太阳能行业，并出口美国、日本、法国、德国等国家。

电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，特种气体多少钱，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积极布局的方向。特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。

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