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显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。

除了稀有气体之外，准分子激光气中的F2是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下，准分子激光气体都是以预混的形式进行供应，这些预混气的F2浓度都在1%以下，但足以对人体健康构成威胁，徐州准分子预混气，尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气，准分子预混气供应，使用的是5%F2+95%He，这类型的气体对人体的危害更为严重。

准分子是一种半衰期非常短暂的分子状态，由同种原子或者异种原子组合而成。其中一种原子的价电子层必须是全满的（比如稀有气体）。如果两种原子都处于基态，它们是不能形成化学键的。但如果价电子全满的那个原子处于激发态，它们之间就能够暂时形成化学键。尽管这种化学键的寿命往往非常短，只在纳秒的量级。准分子可以通过自发辐射或受激辐射，释放出光子回到基态，基态的分子更加不稳定，经过几个皮秒的时间，衰变成两个未成键的原子。

使用准分子激光技术所进行的工业加工任务各不相同，这就促使了准分子激光气体在准分子激光技术产品具有更广的输出特性。本质上，所有的应用都要求具有高可靠性，准分子预混气体，激光寿命更长，运转成本更低。在三方面主要应用的促进下，准分子预混气批发价格，激光器制造商已经取得了大量重要的技术进步。新一代的准分子激光器维护间隔时间更长，自动调节能力更先进，所需支的拥有成本也更低。

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