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目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面，如：钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积、物理气相沉积、磁头与光学镜片、硅晶圆的清洁、微机电系统相关的微制造技术等等。

准分子激光于90年代始在医学上得到运用，主要有：

眼科：使用193nm准分子激光进行LASIK手术，矫治屈光不正（近视、远视、散光）。

皮肤：使用308nm准分子激光治1疗白1癜风、银屑1病和过敏性皮炎。

心血管:准分子激光在心血管疾病中主要用于治1疗冠心1病、周围血管疾病、心脏瓣膜病、先天性1心脏病和肥厚性心肌病等。

产品名称：准分子激光气体（Excimer Laser Gases)

其他名称：氟化ya激光气体（193nm）；氟化ke激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm）

工业技术的升级转型需要平衡日益增长的性能需求与加工速度及制造成本之间的矛盾。准分子激光的诞生，以其高光子能量所称著，供应准分子预混气公司，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，准分子激光器再次站在了尖端工业激光解决方案的前沿。作为当今较有效、较可靠的脉冲紫外激光技术的代表，呼和浩特准分子预混气，准分子激光器有效地1推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医1疗、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。

准分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所发明。使用电子束激发氙气二聚体，准分子预混气厂家，产生的准分子激光波长为172nm。

1975年包括美国政府的海1军研究实验室、诺思罗普研究和技术中心，Avco Everett研究实验室，和美国桑迪亚国家实验室在内的多家政府研究机构研究利用电子束激发惰性气体卤化物。

1979年西德Lambda Physik公司生产出第1台商业用准分子激光器。

迄今为止已经发现的能够产生准分子激光的气体有10多种。

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