用途
H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡气 氦-nai激光混合气
1. 2.0-8.3 He用于工业生产、科学研究和国防建设等领域 二氧化碳激光混合气
2. 0.4 13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-124.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 2.0 4.0 4 He He He He He He主要用于激光加工、如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医1疗上用的激光外科等 ke-氟激光混合气
3. 510 1-1.2 He He用于保护膜暴光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化ke激光 密封束激光混合气 。
4. 18.5 32.5 H2作研究用的密封激光器 准分子激光混合气
5. 25.89.80.004 1 5 0.2 5Ar He He Ar准分子激光器用于医1疗上的外科手术
激光1气体检测技术
气体光谱吸收理论
事物都由原子构成,而不同元素的原子会吸收或释放不同频率(波长)的光。基态原子吸收能量就变成激发态原子,而激发态原子释放能量就变成基态原子。对于激光1气体传感器来说,每个气体都对特定的频率的光有吸收作用。这样,光这个频率的光经过该气体时,激光气公司,因为被吸收了,所以光强(能量)就会降低,激光气供应,反之,没有被吸收的话,能量就没有降低。
气体光学吸收谱
从光谱上可以看出,对于CH4、CO、CO2,在近红外、中红外和远红外区域都有吸收谱,并且其1佳的激光是用中红外激光;而对于氨气,远红外激光来测量1好。
激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,成都激光气,防止污染混合气。如果将氦(He)nai(Ne)激光作为第1代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化ke(KrF)激光,可称为第三代激光。
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