特种气体应用于国民经济的很多行业, 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展, 无论在气体品种上,还是在数量上, 都以的速度发展, 生产的品种基本上满足了市场的需求。灭菌特种气体的主要成分是环氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,环氧乙1烷可杀灭细1菌(及其内孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体,另一类为混合气体。对于单元高纯气体,根据现已收集到的文献,汇总起来共有227种,可分成五个类别。
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体。为了提高气体稳定性和保质期,天然1气公司已经开发出各种技术,以1小化任何局部活性位点在铝气瓶中催化表面的潜在效力,然后再填充特种气体。工业上,把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小,但根据不同的用途。
特种气体的储存注意事项:根据储存的气体类型设置标牌,如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒面具、空气呼吸器等设施。灭菌特种气体可杀灭细菌(及其内孢子)、霉菌及真菌,因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。特种气体在太阳能电池中的应用:非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
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