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DF（氟化）激光混合气。DF（氟化）化学激光器是在特定的环境下将氟和混合形成激发态的激光器。DF激光器比起传统的HF（）激光器能产生更长的波长，这样可以更有效地在大气中传送。激光混合气的组成与精度的影响。气体激光器的种类繁多，激光混合气的品种、规格也较多。对于激光混合气的组成与精度都有严格的要求。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。

激光混合气切割碳钢时一般使用氧气起到冷却切边和加速燃烧碳钢己提高切割速度。当然，当钢瓶厚度薄,对切割质量要求不高时可以用干燥空气替代高纯氮气等辅助气体。使用激光混合气注意事项；每瓶二氧化碳激光混合气在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，小不得低于0.25MPa余压。激光混合气中二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。

 激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。

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