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在制备准分子气体之前，还应考虑组分气体与钢瓶及阀门所用材质是否发生化学反应问题，如氧化、腐蚀、吸附等等，以便保证制备出来的准分子气体具有良好稳定性。选用不同材质的钢瓶和瓶阀来储装准分子气体。准分子气体在进样的时候需要使用管线，但是每种其他的性质特点不同，所以要注意根据根据不同的气体性质来选择管线的材质。

准分子预混气的使用

可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱，而后再进入制程机台的使用点，准分子预混气公司，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘与制程控制模块联机，准分子预混气多少钱，以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯，硅1烷遇水反应，无锡准分子预混气，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。

准分子预混气的运输和储存

准分子预混气得来不易，准分子预混气价格，在储存和运输过程中要求使用高质量的气体包装储运容器、以及相应的气体输送管线、阀门和接口，确保避免二次污染。而我国加工工艺整体落后以及不符合国际规范，市场主要被国外公司占据。国内电子特气纯度仍有待提升。目前国外电子特气的纯度一般在6个“9”（即99.9999%），而国内多在4—5个“9”之间，少数能达到6个“9”。

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